【概要・特徴】
住友重機械グループに属する、イオン注入装置の専門メーカーです。住友重機械工業(株)と米国イートン社との合弁会社として1983年に設立。2009年からは住友重機械工業の100%子会社となっています。現在は、半導体デバイスの製造に対応したイオン注入装置の開発・製造・販売を実施。日本国内すべての半導体デバイスメーカーに納入した実績があり、国内シェア約70%とトップを獲得しています(2019年現在)。
【技術力】
国内で唯一、半導体製造用装置4機種(高電流イオン注入装置、中電流イオン注入装置、高エネルギーイオン注入装置、ALL-in-One型イオン注入装置)を開発するイオン注入装置メーカーとして、高く評価されています。また、最先端の半導体微細加工技術の中でも、特に高度な技術力が要求されるイオン注入技術のさらなる技術向上を目指し、機械学習アルゴリズムなどの先端技術を積極的に活用。今後も世界のデファクトスタンダードを目指し、高精度・高品質な装置を提供していく方針です。
【注力分野】
現在の世界シェアは約10%であり、成長著しい台湾をはじめとするアジア諸国の半導体デバイスメーカーへの輸出に注力。今後、拡大に向けて海外展開を加速する方針です。また、半導体プロセスの技術革新と歩調を合わせた迅速な技術開発を行うとともに、品質・顧客サポートにも注力し、トータルな顧客満足度の向上を目指しています。