通信用レーザーや面発光レーザー(VCSEL)等のオプトエレクトロニクス分野、高周波フィルタ、パワーデバイス、MEMS(微小電気機械素子)等の電子部品分野に、最先端の研究開発や生産用装置として、CVD装置、エッチング装置、洗浄装置を提供しています。